真空計是測量真空系統(tǒng)中氣體壓強(qiáng)的儀器，種類很多，這里介紹的復(fù)合真空計是常見的一種，復(fù)合真空計是由溫差電偶真空計與熱陰極電離真空計組合而成。
 

　　溫差電偶真空計的原理
 

　　溫差電偶真空規(guī)管由玻璃制成，通過小管8和真空系統(tǒng)相接，在規(guī)管內(nèi)的兩根引線上裝有熱絲3，另外兩根引線上焊著一對溫差電偶4，溫差電偶的另一端與熱絲在A點(diǎn)焊接。
 

　　由于在低壓下，氣體的熱傳導(dǎo)系數(shù)與壓強(qiáng)成正比，所以在通過熱絲的電流( 90～150 mA)一定的條件下，熱絲的溫度隨著規(guī)管內(nèi)真空度的提高而升高，溫差電偶電動勢也隨之而增大。因此，通過測量溫差電偶電動勢，可以確定出被測系統(tǒng)的真空度，溫差電偶真空計則是根據(jù)這個原理制成的。溫差電偶真空計的電離真空計的測量范圍1～5×10-2 Pa。
 

　　熱陰極電離真空計的原理
 

　　電離真空規(guī)管是一只三極管，通過B管與真空系統(tǒng)相接，使用時，在燈絲電路中通以電流5mA，燈絲受熱后便發(fā)射電子，由于柵極為正電壓，使電子加速，中途與氣體分子相碰，氣體的密度越大，碰撞機(jī)會越大，產(chǎn)生的正離子也越多。另外，由于板極電壓為負(fù)，便吸引正離子在板極電路中形成板極電流Ip，氣體分子密度越大( 即壓強(qiáng)越大)，板極電流也越大，反之越小。